80L等离子清洗机
  • 产品介绍

一、等离子清洗机清洗刻蚀原理:

  等离子清洗机,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化,便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。

二、设备功能

     等离子清洗机主要用于等离子表面清洗、等离子刻蚀处理、等离子灰化处理、等离子表面活化。

三   应用领域
     半导体、led、电路板、液晶显示器、连接器等行业

四、等离子清洗机主要技术数据及规格

技术配置/标准型号

SPG-60-PSP

SPG-80-PSP

SPG-100-PSP

SPG-120-PSP

外形尺寸(WHD)

W900mmxH1700
     mmxD1000mm

W900mmxH1700
   mmxD1000mm

W900mmxH1700
   mmxD1000mm

W1080mmxH1840
   mmxD1335mm

反应仓尺寸

W450mmxH300
   mmxD450mm

W600mmxH350
   mmxD395mm

W450mmxH500
   mmxD450mm

W450mmxH610
   mmxD470mm

真空腔体材质

不锈钢

电极板有效面积

320mmx280
     mmx9

360mmx340
   mmx11

360mmx340
   mmx14

360mmx340
   mmx18

等离子电源

RSG500/PSG-LA

RSG1000/PSG-LA

KTC600

KTC600

电源功率

0-500W

0-500W

0-1000W

0-1000W

电源频率

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz/40KHz

13.56MHz/40KHz

极限真空度

2Pa

2Pa

2Pa

2Pa

工艺气体流量

0-200sccm

0-200sccm

0-200sccm

0-200sccm

工作压强

10-130Pa

气体管路

内外高精度抛光,气阻小,流量可高达100L/min

单次处理时间

0-6min

PLC控制系统

西门子PLC模拟量控制实现所有信号数据集成

触摸屏

5.7英寸

7.1英寸

7.1英寸

7.1英寸

MFC

MFC-200

MFC-200

KTC-200

KTC-200

电磁阀

日本进口、超长时间低温工作

真空泵系统

BSV60

BSV60+BSJ150L

BSV60+PDV300

BSV60+PDV300

参数功能

配方控制、处理时间、射频功率、气体流量设定可调

所需环境配置

电源

三相五线   独立接地

三相五线   独立接地

三相五线   独立接地

三相五线   独立接地

电流

15A

20A

25A

25A

供气管路

0.2至0.6MPa,管径ø6

环境

最高28°C良好换气通风

湿度

30%-85%

腔体及电极

可据客户要求设计

质量流量计

流量量程及路数可增减

干泵

可据客户要求配置

尾气处理器

可选配

过滤返油装置

可选配

油泵低液位报警

可选配

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