一 生产工艺
将经过扩散工艺处理后石英舟内的硅片，自动取出装入花篮。并将未经过扩散工艺处理的硅片自动从花篮取出，装入到石英舟，然后用机械手将石英舟搬入扩散炉传送带，再传入扩散炉即进行扩散工艺，石英舟传出扩散炉依此循环。
二 工装
硅片花篮 片数=100 篮尺距=4.76
石英舟 1200片 间距2.38
三 产能
上下片≥10000pcs/h
四 单台碎片率
≦0.03%（原碎片除外）A片
五 自我总结
这款机器的核心在于陶瓷叉子和石英舟的匹配精度，陶瓷件我们使用了成千上万件，装配过程中我们总结出了一个消除累计误差的经验，即使在长达一百片的整体装配中也能让累计误差控制在0.3mm以内，为后续机器的提速和碎片率稳定性做好了充足的准备。
