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一 生产工艺
上料机是将花篮里面的硅片传输到刻蚀工艺主机,下料机是将刻蚀工艺主机产出的硅片传输到花篮里
二 工装
硅片花篮 道数=10道 花篮存储=每边8个
三 产能
≥10000pcs/h
四 单台碎片率
≦0.03%(原碎片除外)A片
五 选配工位
可对接AGV小车或手动上下篮具
六 自我总结 这款机器重点在于速度提升的技巧,每小时达到一万片的产能还要保证稳定性,因此在双轨排片,导片入篮等方面不允许有问题,在AGV对接方面也有很高的效率,目前设备的各种性能行业领先。