一 生产工艺
将经过管式PECVD工艺处理后石墨舟内的硅片，自动装载至硅片承载盒中或将未经过管式PECVD工艺处理承载盒里的硅片自动装载至石墨舟内，
石墨舟由自动机械手送入PECVD内镀膜处理。
二 工装
硅片花篮 片数=100/50 篮尺距=4.76MM
石墨舟 可定制工装
三 产能
≥4500pcs/h
四 碎片率
≦0.03%（原碎片除外）A片
五 自我总结 这款机器重点在于机器人吸盘的精准度技巧，采用不易变形的轻型材料加工，结构设计上采用了对称的均衡应力的方法，使插片经久耐用结构稳定，虽然此款设备我们做的比较晚，但与同行相比，在稳定性碎片率划伤率方面已领先诸多厂家
