一、等离子清洗机清洗刻蚀原理：
等离子清洗机，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化,便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
二、设备功能
等离子清洗机主要用于等离子表面清洗、等离子刻蚀处理、等离子灰化处理、等离子表面活化。
三 应用领域
半导体、led、电路板、液晶显示器、连接器等行业。
四、等离子清洗机主要技术数据及规格
技术配置/标准型号 | SPG-60-PSP | SPG-80-PSP | SPG-100-PSP | SPG-120-PSP |
外形尺寸(WHD) | W900mmxH1700
mmxD1000mm | W900mmxH1700
mmxD1000mm | W900mmxH1700
mmxD1000mm | W1080mmxH1840
mmxD1335mm |
反应仓尺寸 | W450mmxH300
mmxD450mm | W600mmxH350
mmxD395mm | W450mmxH500
mmxD450mm | W450mmxH610
mmxD470mm |
真空腔体材质 | 不锈钢 |
电极板有效面积 | 320mmx280
mmx9 | 360mmx340
mmx11 | 360mmx340
mmx14 | 360mmx340
mmx18 |
等离子电源 | RSG500/PSG-LA | RSG1000/PSG-LA | KTC600 | KTC600 |
电源功率 | 0-500W | 0-500W | 0-1000W | 0-1000W |
电源频率 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz/40KHz | 13.56MHz/40KHz |
极限真空度 | 2Pa | 2Pa | 2Pa | 2Pa |
工艺气体流量 | 0-200sccm | 0-200sccm | 0-200sccm | 0-200sccm |
工作压强 | 10-130Pa |
气体管路 | 内外高精度抛光，气阻小，流量可高达100L/min |
单次处理时间 | 0-6min |
PLC控制系统 | 西门子PLC模拟量控制实现所有信号数据集成 |
触摸屏 | 5.7英寸 | 7.1英寸 | 7.1英寸 | 7.1英寸 |
MFC | MFC-200 | MFC-200 | KTC-200 | KTC-200 |
电磁阀 | 日本进口、超长时间低温工作 |
真空泵系统 | BSV60 | BSV60+BSJ150L | BSV60+PDV300 | BSV60+PDV300 |
参数功能 | 配方控制、处理时间、射频功率、气体流量设定可调 |
所需环境配置 |
电源 | 三相五线 独立接地 | 三相五线 独立接地 | 三相五线 独立接地 | 三相五线 独立接地 |
电流 | 15A | 20A | 25A | 25A |
供气管路 | 0.2至0.6MPa,管径ø6 |
环境 | 最高28°C良好换气通风 |
湿度 | 30%-85% |
腔体及电极 | 可据客户要求设计 |
质量流量计 | 流量量程及路数可增减 |
干泵 | 可据客户要求配置 |
尾气处理器 | 可选配 |
过滤返油装置 | 可选配 |
油泵低液位报警 | 可选配 |
